P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdPbc-0124 Resistivity is a primary quantity

Resistivity is a primary quantity for characterization and specification of material used for semiconductor electronic devices

1  This Specification may be applied to equipment that is compliant to SEMI E30 (GEM)

本書では，あらゆる装置状況および時間が必ずどこかに類別される6つの互いに相容れない唯一の基本的な装置状態を定義している。計画外ダウンタイムと呼ばれる状態は，装置システムの「故障」状態と定義される。本仕様での装置信頼性の測定は，装置の稼動に対する装置の故障の関係に重点を置いている。

This Test Method includes measurement by quasi-steady-state photoconductance (QSSPC) and transient techniques using an eddy-current sensor

SEMI MF533-02a (first SEMI publication)

P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdPbc-0124 Resistivity is a primary quantityNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Liquid Chemicals Committee20071220global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org199119979 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not