D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 mm極紫外線リソグラフィ（EUVL）レチクル用EUVポッドの仕様を記述している。EUVポッドは，外部ポッドと保護用の内部ポッドから構成される。EUVポッドは，従来のレチクルキャリアがEUVLの要件に適合しない場合に使用する。

本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 mm極紫外線リソグラフィ（EUVL）レチクル用EUVポッドの仕様を記述している。EUVポッドは，外部ポッドと保護用の内部ポッドから構成される。EUVポッドは，従来のレチクルキャリアがEUVLの要件に適合しない場合に使用する。

The purpose of this Standard is to provide a standardized ‘secure

SEMI HB1 — Specification for Sapphire Wafers Intended for Use for Manufacturing High Brightness-Light Emitting Diode Devices

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異物の静電気吸引（ESA）を低減することによる汚染管理について，ある領域の静電気のリスクは静電気電荷の存在とレベルによって定義される。

D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 mm極紫外線リソグラフィ（EUVL）レチクル用EUVポッドの仕様を記述している。EUVポッドは，外部ポッドと保護用の内部ポッドから構成される。EUVポッドは，従来のレチクルキャリアがEUVLの要件に適合しない場合に使用する。This measurement standard defines test methods for the positional accuracy of touchscreen panels. To help the communication between component material IC and panel manufactures, this Standard provides a testing method that reveals the response performance of touchscreen panels. This Standard is a generic specification for positional accuracy test methods of touchscreen panel including the single point and the straight line. Based on user experiences,