E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス StdPbc-0824 orgで，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年2月に発行された。

orgで，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年2月に発行された。

SEMI MF928-0314 (technical revision)

SEMI M80 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 450 mm Wafers

A configuration or control of the sensor device (e

This Specification defines the dimensions of container and requirements for securing the interface between container and processing equipment or wafer transportation equipment

E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス StdPbc-0824 orgで，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年2月に発行された。SECSHSMS HSMSSEME4SECS IHSMSHSMSSEMIE4 SECS I HSMSOSITCP IPSEMI E13 SECS HSMS Subordinate Standards: SEMI E37. 1 0702 (Reapproved 0413) High Speed SECS Message Services Single Selected Session Mode (HSMS SS) SEMI E37. 2 95 (Withdrawn 1109) High Speed SECS Message Services General Session (HSMS GS) Referenced SEMI StandardsSEMI E4 Specification for SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS I) SEMI E5 Specification for SEMI