T02400 - SEMI T24 - Specification for ID Marking for Glass Carrier Characteristics of Panel Level Packaging (PLP) Applications StdTpc-Electronic Data Interchange the form includes many items

the form includes many items that are not currently included in the SEMI specifications

本スタンダードは，global Traceability Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年5月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2006年6月にwww

SEMI F48-0600 (Reapproved 1214)

本テスト方法は，大気中の酸素の浸入を検出することによって，超高純度（UHP）ガス分配システムの完全性を監視する手順について規定する。本テスト方法は，対象となっているUHPガスを使用したプロセス装置の中断を必要とせずに，非浸入式のO2測定を使用することによって，「活動中の」UHPガス分配システムを連続的に評価するために使用される。

Automated Materials Handling System (AMHS)

T02400 - SEMI T24 - Specification for ID Marking for Glass Carrier Characteristics of Panel Level Packaging (PLP) Applications StdTpc-Electronic Data Interchange the form includes many itemsThis Specification is intended to provide a marking symbology that can be used to mark glass carrier characteristics for panel level packaging (PLP). This Specification defines the geometric shape, size and content of a rectangular two dimensional (2D) code symbol for back surface marking of the glass carrier for use in PLP applications. Although this Specification does not specify the marking techniques that may be employed when complying with its