Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdTpc-Radio Frequency Identification (RFID) 本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。

本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。

This Specification sets minimum voltage sag immunity requirements for equipment used in the semiconductor industry

This Test Method is based on ASTM F1982

SEMI E114 — Test Method for RF Cable Assemblies Used in Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery Systems

NOTE 1: The design and fabrication of the sawing guides and the determination of any geometrical parameters is considered outside the scope of this Test Method

Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdTpc-Radio Frequency Identification (RFID) 本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。