M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mmシリコン単結晶鏡面ウェーハの仕様 Revision:SEMI M76-0710 - Inactive org September 1998

org September 1998

此份安全基準為許多常見的製程液體加熱系統（PLHS）構造提供一個安全功能要求規定表。同時也提供這些安全功能的設計及成效標準。製程液體加熱系統（PLHS）符合規定的安全功能清冊和設計及成效標準，意味著可使加熱系統之風險不超過「低」風險等級（定義於SEMI S10和SEMI S14），以符合這份安全基準的要求。

本文書の目的は，半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムに使われるRF発振器の過渡応答を決定するテスト方法を定義し，SEMI E113をサポートすることである。

本スタンダードの範囲はユーザが要求できる装置情報サービスを定義することである。要求されているサービスを明確にするため，基板の概念および挙動，基板ロケーション，バッチとバッチのロケーションが定義されている。

It also provides for standardized communication with lithography

M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mmシリコン単結晶鏡面ウェーハの仕様 Revision:SEMI M76-0710 - Inactive org September 1998NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Silicon Wafer Committee2010430global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org 450 mmIC450 mm 450 mm 450 mmAMHS450 mm450 mmSEMI M74 SI (System International Referenced SEMI Standards SEMI E45 Test Method for the