F04300 - SEMI F43 - ユースポイントガス精製器およびガスフィルタによるパーティクルに対する寄与度を定量化するための試験方法 Lang-Japanese SEMI E88-1102 (technical revision)

SEMI E88-1102 (technical revision)

半導体プロセス技術は，より微細化形状に向かい続けるであろう。静電気の許容可能なレベルは，製造プロセスの微細化に伴って低くなる。この文書は，設備の静電気の限界値が製造中の製品に対して適切であることを確認するのに役立つ。International Technology Roadmap for Semiconductors(ITRS)に含まれる形状サイズを参照。

SEMI M12-0706 (Reapproved 1011)

A set of roughness abbreviations that describe measurement conditions in a short-hand code

2公分）。

F04300 - SEMI F43 - ユースポイントガス精製器およびガスフィルタによるパーティクルに対する寄与度を定量化するための試験方法 Lang-Japanese SEMI E88-1102 (technical revision)Gases Global Technical Committee201364global Audits and Reviews Subcommittee20136www. semiviews. org www. semi. org1999620083 POUPOU POUCNC050slm 0100 slm <0} , POUPOU Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F19 Specification for the Surface Condition of the Wetted Surfaces of Stainless Steel Components SEMI F70 Test Method for Determination